具有分段式電極的多模干涉光調(diào)制器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010841343.6 申請日 -
公開（公告）號 CN112034636A 公開（公告）日 2020-12-04
申請公布號 CN112034636A 申請公布日 2020-12-04
分類號 G02F1/01;G02F1/03;G02F1/035;G02F1/095;G02F1/125;G02F1/025;G02B6/12;G02B6/122 分類 光學(xué);
發(fā)明人 王磊;楊波 申請（專利權(quán)）人 紹興龐納微電子科技有限公司
代理機構(gòu) 杭州宇信知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 田書亞
地址 312000 浙江省紹興市柯橋區(qū)齊賢街道科創(chuàng)大廈A座901-902室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種具有分段式電極的多模干涉光調(diào)制器，包括襯底，設(shè)于襯底上的緩沖層，設(shè)于緩沖層上的多模波導(dǎo)，包覆所述多模波導(dǎo)的包層，以及設(shè)于所述包層上的至少一條調(diào)制電極；所述調(diào)制電極包括位于所述多模波導(dǎo)上部并沿波導(dǎo)軸線方向間隔排布的分段工作電極，以及用于依次連接所述分段工作電極的連接電極；其中，工作電極對應(yīng)所述多模波導(dǎo)的可調(diào)制區(qū)域，用于引起多模波導(dǎo)相應(yīng)區(qū)域的折射率變化，所述連接電極對應(yīng)所述多模波導(dǎo)的非調(diào)制區(qū)域或位于多模波導(dǎo)之外。本發(fā)明的光調(diào)制器具有結(jié)構(gòu)緊湊，易于光電子集成，工藝容差大，制作工藝簡單的特點，同時分段式電極的引入可將電光作用集中在光強比較集中的區(qū)域，提高能量利用率，減少驅(qū)動電壓。