一種加速度傳感器及其制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610032044.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN105675921B 公開（公告）日 2018-10-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN105675921B 申請(qǐng)公布日 2018-10-26
分類號(hào) G01P15/125;G01P21/00 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 周志健;朱二輝;陳磊;楊力建;鄺國華 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海芯赫科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 廣東合微集成電路技術(shù)有限公司
地址 523808 廣東省東莞市松山湖高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)新竹路4號(hào)新竹苑6幢辦公501
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種加速度傳感器及其制作方法，所述方法包括：在襯底中形成空腔和位于所述空腔上方的與襯底絕緣并依次相互絕緣連接的第一懸空薄膜、第二懸空薄膜和第三懸空薄膜；在所述第一懸空薄膜上形成與之電連接的第一電極，在所述第二懸空薄膜上形成與之電連接的第二電極，在所述第三懸空薄膜上形成與之電連接的第三電極，以及在襯底上方形成與之電連接的第四電極；形成扭轉(zhuǎn)梁結(jié)構(gòu)，所述第一懸空薄膜、第二懸空薄膜和第三懸空薄膜通過所述扭轉(zhuǎn)梁結(jié)構(gòu)與所述襯底連接，且所述第一懸空薄膜和第二懸空薄膜沿所述扭轉(zhuǎn)梁結(jié)構(gòu)對(duì)稱；所述第一懸空薄膜和第二懸空薄膜與所述襯底形成差分電容式檢測(cè)結(jié)構(gòu)；所述第三懸空薄膜與所述襯底構(gòu)成晶圓級(jí)檢測(cè)電容結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)了晶圓級(jí)自檢測(cè)功能，避免采用離心機(jī)測(cè)試，降低了由于加速度傳感器失效造成的成本損失。