一種MEMS壓阻式加速度傳感器及其加工方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510863889.0 申請日 -
公開（公告）號 CN105353167B 公開（公告）日 2019-02-01
申請公布號 CN105353167B 申請公布日 2019-02-01
分類號 G01P15/12 分類 測量；測試;
發(fā)明人 周志健;朱二輝;陳磊;楊力建;鄺國華 申請（專利權(quán)）人 上海芯赫科技有限公司
代理機構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 廣東合微集成電路技術(shù)有限公司
地址 523808 廣東省東莞市松山湖高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)新竹路4號新竹苑6幢辦公501
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種MEMS壓阻式加速度傳感器，包括襯底硅以及用于形成加速度傳感器的頂層硅，所述襯底硅與所述頂層硅相對絕緣設(shè)置，所述頂層硅遠離所述襯底硅的一側(cè)為晶圓表面，所述晶圓表面并位于所述加速度傳感器外部設(shè)置有電隔離溝槽，在所述頂層硅上并設(shè)置有連通所述晶圓表面以及所述襯底硅的導電結(jié)構(gòu)，襯底硅與加速度傳感器構(gòu)成機械可動電容結(jié)構(gòu)；通過設(shè)計一種MEMS壓阻式加速度傳感器，其可以通過靜電力使加速度傳感器產(chǎn)生變形而引起壓阻結(jié)構(gòu)電阻值得變化，進而產(chǎn)生輸出信號，從而實現(xiàn)晶圓級自檢測功能，降低傳感器檢測成本。本發(fā)明還公開一種MEMS壓阻式加速度傳感器的加工方法，用于加工如上所述的MEMS壓阻式加速度傳感器。