一種電容式復(fù)合傳感器及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610590821.4 申請日 -
公開（公告）號 CN106290985B 公開（公告）日 2019-04-12
申請公布號 CN106290985B 申請公布日 2019-04-12
分類號 G01P15/125;G01P15/08;G01L1/14 分類 測量；測試;
發(fā)明人 朱二輝;周志健;陳磊;楊力建;鄺國華 申請（專利權(quán)）人 上海芯赫科技有限公司
代理機構(gòu) 廣東莞信律師事務(wù)所 代理人 廣東合微集成電路技術(shù)有限公司;上海芯赫科技有限公司
地址 523000 廣東省東莞松山湖高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)新竹路4號新竹苑6幢辦公501
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種電容式復(fù)合傳感器，包括壓力傳感器、加速度傳感器，其加速度傳感器包括質(zhì)量塊，以及至少一個過載限位裝置，過載限位裝置由限位擋板和連接件組成，限位擋板一端與晶圓硅襯底相連，一端自由；連接件一端與晶圓硅襯底相連，一端與質(zhì)量塊相連。本發(fā)明還提供一種電容式復(fù)合傳感器的制造方法。其壓力傳感器敏感膜厚度、加速度傳感器限位擋板的厚度及限位距離由刻蝕工藝的刻蝕深度決定，整個晶圓的加工一致性好，加速度傳感器采用機械限位結(jié)構(gòu)，省去電學(xué)限位結(jié)構(gòu)的復(fù)雜控制IC，從而保證限位過載保護的精確性，利于成品小型化。