一種含有自檢測功能的面內(nèi)壓阻式加速度傳感器及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610589538.X 申請日 -
公開（公告）號 CN106093471B 公開（公告）日 2019-06-21
申請公布號 CN106093471B 申請公布日 2019-06-21
分類號 G01P15/12（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 周志健; 朱二輝; 陳磊; 楊力建; 鄺國華 申請（專利權(quán)）人 上海芯赫科技有限公司
代理機構(gòu) 廣東莞信律師事務(wù)所 代理人 廣東合微集成電路技術(shù)有限公司
地址 523000 廣東省東莞松山湖高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)新竹路4號新竹苑6幢辦公501
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種含有自檢測功能的面內(nèi)壓阻式加速度傳感器，基于SOI晶圓制作，所述的SOI晶圓依次設(shè)置有襯底、中間氧化層、器件層，采用側(cè)面摻雜，在加速度傳感器的部分懸臂梁側(cè)壁形成壓阻條，部分懸臂梁側(cè)壁形成自檢測電極；側(cè)壁形成的壓阻條可以減小軸向串?dāng)_，自檢測的方式是利用靜電力模擬加速度輸入引起的加速度傳感器懸臂梁產(chǎn)生的形變，從而檢測加速度傳感器的性能，檢測方式完全與IC檢測探針臺兼容。采用正面釋放加速度傳感器，加工一致性高，器件面積小。本發(fā)明還提供了一種含有自檢測功能的面內(nèi)壓阻式加速度傳感器的制作方法，實現(xiàn)可以進(jìn)行晶圓級自檢測的面內(nèi)壓阻式加速度傳感器的結(jié)構(gòu)與加工工藝。