納米激光直寫物鏡

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110750181.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113448179A 公開（公告）日 2021-09-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN113448179A 申請(qǐng)公布日 2021-09-28
分類號(hào) G03F7/20（2006.01）I;G02B13/18（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 黃木旺;劉旭;匡翠方;林法官 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 福建福特科光電股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 福州市眾韜專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳智雄
地址 310063浙江省杭州市西湖區(qū)余杭塘路866號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及鏡頭領(lǐng)域，特別為一種納米激光直寫物鏡。包括沿光線入射方向依次設(shè)置的負(fù)光焦度的第一群組、正光焦度的第二群組、光闌、以及正光焦度的第三群組；其中各群組的焦距滿足以下關(guān)系：0.65＜|fA/fB|＜3.5；4.0＜|fB/fC|＜15.0；?120mm＜fA＜?40mm；40mm＜fB＜80mm；5mm＜fC＜15mm，其中：fA為第一群組的焦距，fB為第二群組的焦距，fC為第三群組的焦距。本發(fā)明提供一種數(shù)值孔徑NA至1.3左右且高分辨率的納米激光直寫物鏡，該物鏡為無限遠(yuǎn)復(fù)消色差類型系統(tǒng)，且無需使用超半球鏡片，便于物鏡的加工，能降低物鏡的制造成本。