一種基于霍爾效應(yīng)傳感器和平面電機(jī)的位移裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910088055.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111490642A | 公開（公告）日 | 2020-08-04 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111490642A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-08-04 |
| 分類號(hào) | H02K11/215(2016.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 丁晨陽;李涵雄;張國旗;陳椿元;吳曉輝 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 蘇州隱冠半導(dǎo)體技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京得信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 廣東極迅精密儀器有限公司 |
| 地址 | 528222廣東省佛山市南海區(qū)獅山鎮(zhèn)南海軟件科技園內(nèi)佛高科技智庫中心A座科研樓A312-21室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開一種基于霍爾效應(yīng)傳感器和平面電機(jī)的位移裝置，至少包括一個(gè)平面電機(jī)定子、一個(gè)平面電機(jī)動(dòng)子和一個(gè)霍爾效應(yīng)傳感器陣列，平面電機(jī)定子上的磁體陣列在與X方向和Y方向大致平行的第一平面上延伸，形成一個(gè)工作區(qū)，平面電機(jī)動(dòng)子上的線圈陣列配置在與第一平面平行的第二平面上，線圈陣列與磁體陣列相互作用使平面電機(jī)動(dòng)子在工作區(qū)范圍內(nèi)產(chǎn)生至少兩個(gè)自由度的位移，磁體陣列由第一磁體塊和第二磁體塊交替成行成列配置，霍爾效應(yīng)傳感器陣列由多個(gè)霍爾效應(yīng)傳感器組成，安裝在平面電機(jī)動(dòng)子上，磁體陣列的磁體塊在X方向的尺寸不小于霍爾效應(yīng)傳感器陣列的列間距的兩倍，磁體陣列的磁體塊在Y方向的尺寸不小于霍爾效應(yīng)傳感器陣列的行間距的兩倍。?? |
