一種基于混合位移傳感器和平面電機的位移裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920154965.4 申請日 -
公開（公告）號 CN209767305U 公開（公告）日 2019-12-10
申請公布號 CN209767305U 申請公布日 2019-12-10
分類號 H02K7/00（2006.01）; H02K1/12（2006.01）; H02K3/28（2006.01）; H02K11/21（2016.01）; H02K11/22（2016.01） 分類 發(fā)電、變電或配電;
發(fā)明人 丁晨陽; 李涵雄; 張國旗; 李平; 陳椿元; 吳曉輝 申請（專利權）人 蘇州隱冠半導體技術有限公司
代理機構(gòu) 北京得信知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 廣東極迅精密儀器有限公司
地址 528222 廣東省佛山市南海區(qū)獅山鎮(zhèn)南海軟件科技園內(nèi)佛高科技智庫中心A座科研樓A312-21室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開一種基于混合位移傳感器和平面電機的位移裝置，其包括工作臺和定子，其中定子設計有一個工作區(qū)域并且定子包括磁體塊系統(tǒng)，工作臺沿第三方向(Z)可移動地與定子鄰接配置，工作臺包括電機線圈系統(tǒng)，電機線圈系統(tǒng)與磁體塊系統(tǒng)作用，使工作臺在工作區(qū)范圍內(nèi)產(chǎn)生六個自由度的位移，還包括多個長距離無接觸位移傳感器和多個短距離無接觸位移傳感器，長距離無接觸位移傳感器安裝在定子上，通過多個長距離無接觸位移傳感器的反饋信號得出工作臺沿第一方向(X)和第二方向(Y)平動以及繞第三方向(Z)轉(zhuǎn)動的三個自由度運動的位移，短距離無接觸位移傳感器沿第三方向(Z)安裝在工作臺上，指向定子，用于測量工作臺和定子的間距。