摻雜金屬Na的靶材、背面電極層制備方法和CIGS太陽能電池

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910345493.5 申請日 -
公開（公告）號 CN110079767A 公開（公告）日 2019-08-02
申請公布號 CN110079767A 申請公布日 2019-08-02
分類號 C23C14/08（2006.01）I; C23C14/18（2006.01）I; C23C14/34（2006.01）I; C23C14/35（2006.01）I; H01L31/0224（2006.01）I; H01L31/048（2014.01）I; H01L31/0749（2012.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王磊; 張準 申請（專利權）人 潮州市億加光電科技有限公司
代理機構 北京天達知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 侯永帥;和歡慶
地址 521000 廣東省潮州市潮安縣鳳塘鎮(zhèn)鳳崗牛頭山工業(yè)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種摻雜金屬Na的靶材、背面電極層制備方法和CIGS太陽能電池，屬于CIGS太陽能電池技術，解決現(xiàn)有技術中在CIGS層或背面電極層中摻雜Na化合物會引入新的雜質元素的問題。本發(fā)明的摻雜金屬Na的靶材，包括第一靶材和第二靶材，第一靶材包括層疊的第一Mo層和第一Na摻雜層，第二靶材包括層疊的第二Mo層和第二Na摻雜層；第一Mo層和第二Mo層采用金屬Mo制成，第一Na摻雜層和第二Na摻雜層采用金屬Mo中摻雜金屬Na制成；第一Na摻雜層的Na摻雜量大于第二Na摻雜層的Na摻雜量。本發(fā)明的摻雜金屬Na的靶材、背面電極層制備方法和CIGS太陽能電池可用于太陽能發(fā)電。