一種用于單晶生產(chǎn)爐的熱屏裝置、控制方法及單晶生產(chǎn)爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010621682.3 申請日 -
公開（公告）號 CN111926380B 公開（公告）日 2021-10-19
申請公布號 CN111926380B 申請公布日 2021-10-19
分類號 C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I;C30B15/20（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 薛忠營;李名浩;魏星;栗展;魏濤;劉赟 申請（專利權(quán)）人 上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 郝傳鑫;賈允
地址 200050上海市長寧區(qū)長寧路865號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于單晶生產(chǎn)爐的熱屏裝置，所述熱屏裝置用于設(shè)在所述單晶硅生長爐的熔體坩堝上部，所述熱屏裝置包括殼體、支撐件、隔熱板和方向控制組件，所述支撐件與所述隔熱板設(shè)于所述殼體內(nèi)，所述支撐件的一端與所述殼體內(nèi)壁固定連接，所述方向控制組件與所述隔熱板連接，所述支撐件用于作為所述隔熱板的支點(diǎn)并與所述方向控制組件配合控制所述隔熱板與所述殼體之間相對轉(zhuǎn)動，所述隔熱板的可轉(zhuǎn)動夾角朝向所述單晶硅的柱面，所述殼體底部外表面用于朝向所述熔體坩堝內(nèi)部。本發(fā)明的目的是提供一種用于單晶生產(chǎn)爐的熱屏裝置及單晶生產(chǎn)爐，通過改變熱屏設(shè)計，通過控制隔熱板的方向和角度實(shí)現(xiàn)溫度梯度的動態(tài)控制，從而實(shí)現(xiàn)拉速的控制。