一種石英銷及單晶硅生長裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120160695.5 申請日 -
公開（公告）號 CN214361839U 公開（公告）日 2021-10-08
申請公布號 CN214361839U 申請公布日 2021-10-08
分類號 C30B29/06（2006.01）I;C30B15/20（2006.01）I;G01F23/292（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 溫雅楠 申請（專利權(quán)）人 上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海思捷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王宏婧
地址 201306上海市浦東新區(qū)臨港新城云水路1000號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種石英銷，所述石英銷包括桿身，所述桿身沿軸向分為第一部分和第二部分，所述第一部分沿軸向的長度小于所述第二部分沿軸向的長度，且所述第一部分與所述第二部分的軸向不平行，所述第二部分的自由端膨大形成投影部，所述投影部的背離所述第二部分的表面為弧面。所述第一部分用于將石英銷固定于反射器的底端，所述投影部會(huì)在硅熔體的液面形成有投影，所述投影部背向所述第二部分的一面為弧面，所述弧面能夠?qū)⒐饩€更好的反射至硅熔體的液面。能夠使得所述投影更加清晰，有利于成像單元獲取所述投影與所述投影部的圖像，有利于獲取所述投影與所述投影部之間的距離。相應(yīng)的，本實(shí)用新型還提供了一種單晶硅生長裝置。