晶圓盒放置架及晶圓存儲柜

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811518717.X 申請日 -
公開（公告）號 CN111301907B 公開（公告）日 2021-10-01
申請公布號 CN111301907B 申請公布日 2021-10-01
分類號 B65G1/02（2006.01）I 分類 輸送；包裝；貯存；搬運薄的或細絲狀材料;
發(fā)明人 權林;林威斌;吳恬辛;陳曉春;祝杰 申請（專利權）人 上海新昇半導體科技有限公司
代理機構 上海光華專利事務所（普通合伙） 代理人 余明偉
地址 201306上海市浦東新區(qū)泥城鎮(zhèn)新城路2號24幢C1350室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種晶圓盒放置架及晶圓存儲柜。所述晶圓盒放置架包括固定架和用于放置晶圓盒的防摩擦導軌，所述固定架上設置有至少一個晶圓盒放置區(qū)域；所述防摩擦導軌設置于所述晶圓盒放置區(qū)域上。本發(fā)明的晶圓盒放置架和晶圓存儲柜可以有效防止因晶圓盒和放置架之間發(fā)生摩擦而產生不銹鋼粉末等顆粒污染，可以有效避免晶圓盒的污染，由此可以避免晶圓的污染，提高晶圓的潔凈度。