導流型熱蒸發(fā)沉積裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200910216474.9 申請日 -
公開（公告）號 CN101760723B 公開（公告）日 2011-05-18
申請公布號 CN101760723B 申請公布日 2011-05-18
分類號 C23C14/24(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 張占文;黃勇;漆小波;李波;劉一揚;陳素芬;魏勝 申請（專利權）人 四川中物神光科技有限責任公司
代理機構 中國工程物理研究院專利中心 代理人 翟長明;韓志英
地址 621900 四川省綿陽市919信箱987分箱
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種導流型熱蒸發(fā)沉積裝置，本發(fā)明的裝置含有加熱爐、導流管、導流管加熱罩。加熱爐由加熱絲架、內(nèi)保溫筒和外保溫筒組成，蒸發(fā)舟置于加熱絲架內(nèi)。在加熱爐中的加熱絲支撐座下方連接有中心軸，加熱爐通過中心軸與底座法蘭固定連接。導流管與蒸發(fā)舟的蒸發(fā)口密封連接，導流管置于導流管加熱罩內(nèi)。當蒸發(fā)舟內(nèi)的材料受熱蒸發(fā)的時候，由于內(nèi)外壓差的作用，蒸氣會沿導流管向外流動，由于導流管的導向作用，可實現(xiàn)蒸氣由上至下噴出。本發(fā)明的裝置也可以通過兩個或兩個以上的組合配置實現(xiàn)兩種或兩種以上材料的化學氣相沉積。解決了需要在下方固定樣品的熱蒸發(fā)氣相沉積問題。本發(fā)明的裝置中蒸汽流更集中，可以獲得更高的沉積速率。