導(dǎo)流型熱蒸發(fā)沉積裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200910216474.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN101760723A 公開（公告）日 2010-06-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN101760723A 申請(qǐng)公布日 2010-06-30
分類號(hào) C23C14/24(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 張占文;黃勇;漆小波;李波;劉一揚(yáng);陳素芬;魏勝 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 四川中物神光科技有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 中國(guó)工程物理研究院專利中心 代理人 翟長(zhǎng)明;韓志英
地址 621900 四川省綿陽(yáng)市919信箱987分箱
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種導(dǎo)流型熱蒸發(fā)沉積裝置，本發(fā)明的裝置含有加熱爐、導(dǎo)流管、導(dǎo)流管加熱罩。加熱爐由加熱絲架、內(nèi)保溫筒和外保溫筒組成，蒸發(fā)舟置于加熱絲架內(nèi)。在加熱爐中的加熱絲支撐座下方連接有中心軸，加熱爐通過中心軸與底座法蘭固定連接。導(dǎo)流管與蒸發(fā)舟的蒸發(fā)口密封連接，導(dǎo)流管置于導(dǎo)流管加熱罩內(nèi)。當(dāng)蒸發(fā)舟內(nèi)的材料受熱蒸發(fā)的時(shí)候，由于內(nèi)外壓差的作用，蒸氣會(huì)沿導(dǎo)流管向外流動(dòng)，由于導(dǎo)流管的導(dǎo)向作用，可實(shí)現(xiàn)蒸氣由上至下噴出。本發(fā)明的裝置也可以通過兩個(gè)或兩個(gè)以上的組合配置實(shí)現(xiàn)兩種或兩種以上材料的化學(xué)氣相沉積。解決了需要在下方固定樣品的熱蒸發(fā)氣相沉積問題。本發(fā)明的裝置中蒸汽流更集中，可以獲得更高的沉積速率。