一種高純半絕緣碳化硅粉料的制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110257948.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113120909A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-07-16 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113120909A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-07-16 |
| 分類(lèi)號(hào) | C01B32/984（2017.01）I | 分類(lèi) | 無(wú)機(jī)化學(xué); |
| 發(fā)明人 | 高冰;李俊;葉宏亮 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 浙江晶越半導(dǎo)體有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 杭州六方于義專(zhuān)利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 施少鋒 |
| 地址 | 312451浙江省紹興市嵊州市浦口街道浦南大道368號(hào)9號(hào)廠房二樓202室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種高純半絕緣碳化硅粉料的制備方法，將高純硅粉及高純碳粉放入熱場(chǎng)內(nèi)進(jìn)行兩個(gè)階段的高溫反應(yīng)，熱場(chǎng)內(nèi)設(shè)置了一種可拆卸的卡槽式石墨內(nèi)置薄坩堝，為了提高石墨坩堝使用壽命以及方便于拆卸。本發(fā)明工序簡(jiǎn)單，制備出的碳化硅粉料純度高，且顆粒度大小可控。 |
