超聲波掃描顯微鏡檢測系統(tǒng)器件定位裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020542670.7 申請日 -
公開(公告)號 CN211978773U 公開(公告)日 2020-11-20
申請公布號 CN211978773U 申請公布日 2020-11-20
分類號 G01N29/26(2006.01)I;G01N29/28(2006.01)I 分類 測量;測試;
發(fā)明人 聶延偉;宋婉瀟;楊國牛;薛翔;夏啟飛;劉榮輝 申請(專利權(quán))人 西安西谷微電子有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京東靈通專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 西安西谷微電子有限責(zé)任公司
地址 710000陜西省西安市高新區(qū)錦業(yè)路69號創(chuàng)業(yè)園A區(qū)12號現(xiàn)代企業(yè)中心東區(qū)2-10402
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了超聲波掃描顯微鏡檢測系統(tǒng)器件定位裝置,包括檢測平臺和耦合介質(zhì)槽,耦合介質(zhì)槽內(nèi)設(shè)置與檢測平臺邊緣位置相應(yīng)的固定點,使檢測平臺對應(yīng)固定點放置于耦合介質(zhì)槽內(nèi)時,檢測平臺的中心點與耦合介質(zhì)槽的中心點重合;檢測平臺上圍繞中心點的位置固定待測塑封電子元器件。本實用新型的檢測系統(tǒng)器件定位裝置能夠?qū)⑵骷?zhǔn)確定位,提高檢測速率。??