大尺寸高純銅旋轉(zhuǎn)靶材的制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010595744.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN111604651A | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-09-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111604651A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-09-01 |
| 分類(lèi)號(hào) | B23P15/00(2006.01)I;B23B5/12(2006.01)I | 分類(lèi) | 機(jī)床；不包含在其他類(lèi)目中的金屬加工; |
| 發(fā)明人 | 董艷霞;于丙宏;王永勝;張洪;王宏君;張健;張昱;尹城鈞 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 沈陽(yáng)有色金屬加工有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 沈陽(yáng)亞泰專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 沈陽(yáng)有色金屬加工有限公司 |
| 地址 | 110200遼寧省沈陽(yáng)市沈陽(yáng)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)冶金十路二號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種金屬材料加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及大尺寸高純銅旋轉(zhuǎn)靶材的制備方法。所述大尺寸高純銅旋轉(zhuǎn)靶材的制備方法包括以下步驟：步驟1、鑄錠選擇；步驟2、熱鍛造；步驟3、車(chē)削；步驟4、熱擠壓；步驟5、拉伸；步驟6、退火；步驟7、精整：步驟8、檢驗(yàn)制作管材。本發(fā)明提供的大尺寸高純銅旋轉(zhuǎn)靶材的制備方法使制得管材內(nèi)部組織均勻、細(xì)小，沒(méi)有變形織構(gòu)，任意一點(diǎn)晶粒尺寸在0.25?0.33um，最大和最小晶粒尺寸差值小于0.10um；本發(fā)明提供的大尺寸高純銅旋轉(zhuǎn)靶材的制備方法使制得管材硬度均勻，任意一點(diǎn)布氏硬度HB值在53?55之間，因校直使大長(zhǎng)徑比管材直度很好，便于后續(xù)精密加工靶材以及靶材旋轉(zhuǎn)。該制備方法操作性好，生產(chǎn)效率高，生產(chǎn)成本較低，并能形成工業(yè)化批量生產(chǎn)。?? |
