一種高氣密性治具腔體
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020531910.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN211477513U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-09-11 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211477513U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-09-11 |
| 分類號(hào) | G01M3/02(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 劉波 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 無(wú)錫升滕半導(dǎo)體技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 無(wú)錫松禾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 無(wú)錫升滕半導(dǎo)體技術(shù)有限公司 |
| 地址 | 214000江蘇省無(wú)錫市新吳區(qū)菱湖大道天安智慧城 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種高氣密性治具腔體，包括治具本體，所述治具內(nèi)部設(shè)有檢測(cè)腔；所述治具上設(shè)置有與被檢測(cè)裝置相連接的連接孔槽，以及與抽真空裝置相連通的抽氣孔；所述治具設(shè)置有封合端面，所述封合端面設(shè)置有與所述檢測(cè)腔連通的封合孔，所述封合孔上覆設(shè)有封合板，所述封合板和所述封合端面間設(shè)置有密封墊圈；所述封合端面的一端設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)軸，所述封合板的一端設(shè)置有弧形內(nèi)凹的轉(zhuǎn)動(dòng)槽；所述封合板的一端通過(guò)所述轉(zhuǎn)動(dòng)槽壓抵在所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸上，并朝所述封合端面轉(zhuǎn)動(dòng)，所述封合板的另一端通過(guò)螺栓與所述封合端面相緊固。本實(shí)用新型能夠簡(jiǎn)化治具封合板的裝拆步驟，且氣密性能更佳。?? |
