晶圓片預(yù)處理裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120512185.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214226893U 公開(kāi)（公告）日 2021-09-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN214226893U 申請(qǐng)公布日 2021-09-17
分類(lèi)號(hào) H01L21/677（2006.01）I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 史蒂文·賀·汪;林鵬鵬 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 硅密芯鍍（海寧）半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海弼興律師事務(wù)所 代理人 楊東明;何橋云
地址 201616上海市松江區(qū)思賢路3600號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種晶圓片預(yù)處理裝置，其包括槽體組件，槽體組件內(nèi)設(shè)有托盤(pán)，晶圓片能夠置于托盤(pán)上，托盤(pán)可移動(dòng)，并且當(dāng)晶圓片相對(duì)于槽體組件進(jìn)行取放時(shí)，托盤(pán)移動(dòng)至臨近或位于水平狀態(tài)。本實(shí)用新型提供的晶圓片預(yù)處理裝置通過(guò)對(duì)其的結(jié)構(gòu)進(jìn)行一系列設(shè)置，即通過(guò)移動(dòng)放置晶圓片的托盤(pán)，使其具有一能夠使晶圓片臨近或位于水平狀態(tài)的位置，在該狀態(tài)下進(jìn)行晶圓片的取放操作時(shí)，由于空間受限程度減小，更加方便操作，水平狀態(tài)下不論是人為放置還是機(jī)械手操作，都不會(huì)存在晶圓片會(huì)垂直掉落而發(fā)生損壞的情況發(fā)生，甚至可以通過(guò)推動(dòng)方式使晶圓片緩慢滑進(jìn)托盤(pán)，因此起到了使晶圓片保證安全放置的效果。