純碳坯體的碳化硅密封件的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810679689.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN108821776A 公開(kāi)（公告）日 2018-11-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN108821776A 申請(qǐng)公布日 2018-11-16
分類號(hào) C04B35/573;C04B35/622 分類 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 郭興忠;王奇玄;黃凱越;高黎華;鄭浦;楊輝 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江東新新材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州中成專利事務(wù)所有限公司 代理人 浙江東新新材料科技有限公司
地址 317015 浙江省臺(tái)州市臨海市上盤鎮(zhèn)北洋工業(yè)園區(qū)12路1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種純碳坯體的碳化硅密封件的制備方法，包括以下步驟：1)、將石墨粉作為主原料與分散劑共同加入到占主原料質(zhì)量的去離子水中，攪拌，加入粘結(jié)劑，繼續(xù)攪拌，之后加入造孔劑，攪拌后倒出，得到水基純碳料漿；2)、下將水基純碳料漿烘干，得到純碳粉粒，之后粉碎得到細(xì)純碳顆粒；3)、將細(xì)純碳顆粒放置于避光處陳腐1?2天，干壓成型，獲得密封件坯體；4)、將密封件坯體和硅片按照放在真空反應(yīng)燒結(jié)爐中，同時(shí)進(jìn)行液相滲硅，得到含碳的碳化硅密封件。本發(fā)明由純碳坯體利用液相滲硅的方法制備得到SiC陶瓷，降低了成本，節(jié)約了能源，且降低了制備過(guò)程的難度及復(fù)雜性。