一種氣相沉積用噴淋板的孔徑檢測(cè)治具

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202020982436.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN212320602U 公開(kāi)(公告)日 2021-01-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN212320602U 申請(qǐng)公布日 2021-01-08
分類號(hào) G01B5/12(2006.01)I 分類 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 張代龍;穆帥帥;馬有杰;賀賢漢 申請(qǐng)(專利權(quán))人 富樂(lè)德科技發(fā)展(天津)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 天津市新天方專利代理有限責(zé)任公司 代理人 富樂(lè)德科技發(fā)展(天津)有限公司
地址 301712天津市武清區(qū)京濱工業(yè)園京濱大道南側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型是一種氣相沉積用噴淋板的孔徑檢測(cè)治具,包括治具底座,其特征在于,在治具底座的上表面安有前后對(duì)應(yīng)的弧形卡座二,前后弧形卡座二之間形成環(huán)形開(kāi)孔二,在前后弧形卡座二的上表面均對(duì)應(yīng)固接有弧形卡座一,前后弧形卡座一之間形成環(huán)形開(kāi)孔一,弧形卡座一、弧形卡座二與治具底座之間依次呈階梯狀結(jié)構(gòu)設(shè)置。本實(shí)用新型通過(guò)在治具底座上設(shè)置弧形卡座一,弧形卡座二,以及同軸的環(huán)形開(kāi)孔一和環(huán)形開(kāi)孔二,在不更換檢測(cè)治具的情況下,實(shí)現(xiàn)了自由切換檢測(cè)不同規(guī)格的噴淋板的孔徑,通過(guò)設(shè)置與噴淋板的定位塊相適配的定位槽一和定位槽二,配合弧形卡座一的固定孔,避免了噴淋板與檢測(cè)治具發(fā)生相對(duì)移動(dòng),進(jìn)而提高了檢測(cè)的工作效率。??