一種去除鉬材質(zhì)表面金屬導(dǎo)電薄膜的清洗方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011444307.2 申請日 -
公開（公告）號 CN112605039A 公開（公告）日 2021-04-06
申請公布號 CN112605039A 申請公布日 2021-04-06
分類號 C23F1/16(2006.01)I;B08B3/02(2006.01)I;B08B3/12(2006.01)I;B24C1/08(2006.01)I;C23G1/10(2006.01)I 分類 清潔;
發(fā)明人 穆帥帥;張代龍;馬有杰;賀賢漢 申請（專利權(quán)）人 富樂德科技發(fā)展（天津）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 天津市新天方專利代理有限責(zé)任公司 代理人 孔珍
地址 301712天津市武清區(qū)京濱工業(yè)園京濱大道南側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明是一種去除鉬材質(zhì)表面金屬導(dǎo)電薄膜的清洗方法，其步驟如下：來料檢查；純水沖洗；鹽酸浸泡；乙二酸浸泡；表面噴砂；硝酸和氫氟酸浸泡；純水浸泡；超聲波清洗；氮?dú)獯祾?；干燥。本發(fā)明通過采用鹽酸浸泡，便于去除鉬材質(zhì)部件表面大部分的沉積污染物，通過使用噴砂機(jī)對鉬材質(zhì)部件進(jìn)行噴砂處理，便于清除鉬材質(zhì)部件表面的氧化層，通過采用硝酸和氫氟酸混合溶液浸泡鉬材質(zhì)部件，可以去除鉬材質(zhì)部件表面玷污的微量金屬，使用超聲波清洗和氮?dú)馇鍜咩f材質(zhì)部件表面，大大減少了鉬材質(zhì)部件表面的顆粒污染物，采用此方法降低了鉬材質(zhì)部件的單次重量損耗，減少了鉬材質(zhì)部件母材的損耗，增加了鉬材質(zhì)部件的使用次數(shù)，降低了客戶端的使用成本。??