一種半導(dǎo)體制程用壓緊環(huán)的噴砂保護(hù)治具

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021737426.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN212947306U 公開(kāi)(公告)日 2021-04-13
申請(qǐng)公布號(hào) CN212947306U 申請(qǐng)公布日 2021-04-13
分類號(hào) B24C3/00(2006.01)I;B24C9/00(2006.01)I 分類 磨削;拋光;
發(fā)明人 穆帥帥;張代龍;馬有杰;賀賢漢 申請(qǐng)(專利權(quán))人 富樂(lè)德科技發(fā)展(天津)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 天津市新天方專利代理有限責(zé)任公司 代理人 孔珍
地址 301712天津市武清區(qū)京濱工業(yè)園京濱大道南側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型是一種半導(dǎo)體制程用壓緊環(huán)的噴砂保護(hù)治具,包括治具主體,治具主體包括環(huán)形平面覆蓋板,在環(huán)形平面覆蓋板上同軸安有環(huán)形內(nèi)筒,環(huán)形內(nèi)筒的上部安有支撐桿,支撐桿與環(huán)形平面覆蓋板平行,位于環(huán)形內(nèi)筒外部的環(huán)形平面覆蓋板上圓周安有若干限位柱。本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置安有十字型支撐桿的環(huán)形內(nèi)筒,避免了環(huán)形內(nèi)筒多次使用后發(fā)生變形,并且方便取拿治具,通過(guò)設(shè)置安有限位柱的環(huán)形平面覆蓋板,限位柱安裝在壓緊環(huán)凹槽內(nèi),保證治具不會(huì)左右晃動(dòng),且不會(huì)碰傷產(chǎn)品,環(huán)形內(nèi)筒與壓緊環(huán)內(nèi)表面貼合緊密,遮蔽精度高,使用方便,便于反復(fù)使用,避免了采用膠帶而導(dǎo)致的保護(hù)邊緣不齊,有殘膠的問(wèn)題。??