一種半導(dǎo)體制程用壓緊環(huán)的噴砂保護(hù)治具
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021737426.2 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(kāi)(公告)號(hào) | CN212947306U | 公開(kāi)(公告)日 | 2021-04-13 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN212947306U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-13 |
分類號(hào) | B24C3/00(2006.01)I;B24C9/00(2006.01)I | 分類 | 磨削;拋光; |
發(fā)明人 | 穆帥帥;張代龍;馬有杰;賀賢漢 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 富樂(lè)德科技發(fā)展(天津)有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 天津市新天方專利代理有限責(zé)任公司 | 代理人 | 孔珍 |
地址 | 301712天津市武清區(qū)京濱工業(yè)園京濱大道南側(cè) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實(shí)用新型是一種半導(dǎo)體制程用壓緊環(huán)的噴砂保護(hù)治具,包括治具主體,治具主體包括環(huán)形平面覆蓋板,在環(huán)形平面覆蓋板上同軸安有環(huán)形內(nèi)筒,環(huán)形內(nèi)筒的上部安有支撐桿,支撐桿與環(huán)形平面覆蓋板平行,位于環(huán)形內(nèi)筒外部的環(huán)形平面覆蓋板上圓周安有若干限位柱。本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置安有十字型支撐桿的環(huán)形內(nèi)筒,避免了環(huán)形內(nèi)筒多次使用后發(fā)生變形,并且方便取拿治具,通過(guò)設(shè)置安有限位柱的環(huán)形平面覆蓋板,限位柱安裝在壓緊環(huán)凹槽內(nèi),保證治具不會(huì)左右晃動(dòng),且不會(huì)碰傷產(chǎn)品,環(huán)形內(nèi)筒與壓緊環(huán)內(nèi)表面貼合緊密,遮蔽精度高,使用方便,便于反復(fù)使用,避免了采用膠帶而導(dǎo)致的保護(hù)邊緣不齊,有殘膠的問(wèn)題。?? |
