一種制動(dòng)機(jī)構(gòu)及采用該制動(dòng)機(jī)構(gòu)的調(diào)角載臺(tái)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210318975.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114688183A 公開（公告）日 2022-07-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN114688183A 申請(qǐng)公布日 2022-07-01
分類號(hào) F16D49/10（2006.01）I;F16D49/12（2006.01）I;F16D65/06（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機(jī)器或設(shè)備的有效運(yùn)行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州矽行半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京千壹知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 213166江蘇省蘇州市高新區(qū)培源路2號(hào)微系統(tǒng)園2號(hào)樓106室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種制動(dòng)機(jī)構(gòu)及采用該制動(dòng)機(jī)構(gòu)的調(diào)角載臺(tái)，屬于高精密驅(qū)動(dòng)載臺(tái)領(lǐng)域，制動(dòng)機(jī)構(gòu)包括摩擦傳動(dòng)帶、摩擦傳動(dòng)帶支撐組件、剎車驅(qū)動(dòng)滑座組件、制動(dòng)器、摩擦滾輪和Z軸摩擦片；調(diào)角載臺(tái)包括機(jī)架、側(cè)邊梁、晶圓載臺(tái)、摩擦傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、X軸橫梁、Y軸驅(qū)動(dòng)組和X軸驅(qū)動(dòng)組；X軸驅(qū)動(dòng)組設(shè)置在X軸橫梁與晶圓載臺(tái)之間，驅(qū)動(dòng)晶圓載臺(tái)和摩擦傳動(dòng)機(jī)構(gòu)同步的沿著X軸橫梁橫向移動(dòng)，同時(shí)摩擦傳動(dòng)機(jī)構(gòu)摩擦傳動(dòng)使得晶圓載臺(tái)的載盤轉(zhuǎn)動(dòng)，從而調(diào)整晶圓角度；通過本發(fā)明的制動(dòng)機(jī)構(gòu)可以為主動(dòng)或被動(dòng)驅(qū)動(dòng)的載臺(tái)提供制動(dòng)力，同時(shí)可提供轉(zhuǎn)角調(diào)節(jié)，降低了成本，提高了整體性能，便于在帶有運(yùn)動(dòng)臺(tái)或載臺(tái)的半導(dǎo)體量檢測(cè)、高精加工領(lǐng)域中推廣應(yīng)用。