一種載臺系統(tǒng)及采用該載臺系統(tǒng)的晶圓驅(qū)動方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210318969.8 申請日 -
公開（公告）號 CN114695227A 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN114695227A 申請公布日 2022-07-01
分類號 H01L21/68（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權(quán)）人 蘇州矽行半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 北京千壹知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 213166江蘇省蘇州市高新區(qū)培源路2號微系統(tǒng)園2號樓106室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種載臺系統(tǒng)及采用該載臺系統(tǒng)的晶圓驅(qū)動方法，屬于半導(dǎo)體檢測及加工設(shè)備領(lǐng)域；載臺系統(tǒng)包括機架、側(cè)邊梁、晶圓載臺、摩擦傳動機構(gòu)、X軸橫梁、X軸驅(qū)動組、Y軸驅(qū)動組和消反力組件；消反力組件用于對晶圓載臺和摩擦傳動機構(gòu)橫向力和相對于質(zhì)心扭矩的抵消；晶圓驅(qū)動方法包括晶圓上料、初始定位、定位校正、過程調(diào)整和晶圓下料；通過本方案可以為機臺提供柔性支撐，載盤能夠采用摩擦傳動機構(gòu)是此案低成本高精度的載件角度調(diào)節(jié)，并為機臺上部件的滑移、轉(zhuǎn)動等帶來的振動提供慣性力和扭矩抵消的消反力組件，保證了系統(tǒng)的穩(wěn)定性和精度，便于在晶圓、光伏硅片、顯示屏等產(chǎn)品的高精穩(wěn)定承載領(lǐng)域推廣應(yīng)用。