一種柔性運動臺及載臺系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210318967.9 申請日 -
公開（公告）號 CN114619411A 公開（公告）日 2022-06-14
申請公布號 CN114619411A 申請公布日 2022-06-14
分類號 B25H1/02（2006.01）I;B25H1/10（2006.01）I;B25B11/00（2006.01）I 分類 手動工具；輕便機(jī)動工具；手動器械的手柄；車間設(shè)備；機(jī)械手;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權(quán)）人 蘇州矽行半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京千壹知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 213166江蘇省蘇州市高新區(qū)培源路2號微系統(tǒng)園2號樓106室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種柔性運動臺及載臺系統(tǒng)，屬于高精機(jī)臺領(lǐng)域，柔性運動臺包括承載梁、端接頭、氣浮地腳、側(cè)端氣浮墊、側(cè)端剎車墊、橫向直線電機(jī)、縱向直線電機(jī)、距離傳感器和偏移限位組件，橫向直線電機(jī)和縱向直線電機(jī)用以在平面內(nèi)驅(qū)動承載梁；多個距離傳感器設(shè)置在端接頭上，用以監(jiān)測承載梁的位置；載臺系統(tǒng)包括機(jī)架、側(cè)邊梁、晶圓載臺、摩擦傳動機(jī)構(gòu)、X軸橫梁、X軸驅(qū)動組、Y軸驅(qū)動組和消反力組件；柔性運動臺被柔性支撐在機(jī)架和兩個側(cè)邊梁之間；通過本申請的柔性運動臺及載臺系統(tǒng)，能夠精確的柔性支撐、監(jiān)測和調(diào)節(jié)承載梁的空間位置，保證載臺系統(tǒng)的精度和穩(wěn)定性，便于在帶有運動臺的半導(dǎo)體量檢測、高精加工領(lǐng)域中推廣應(yīng)用。