一種回正叉機(jī)構(gòu)及晶圓載臺(tái)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210318982.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN114683227A | 公開（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114683227A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-01 |
| 分類號(hào) | B25H1/14（2006.01）I;B25H1/00（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I | 分類 | 手動(dòng)工具；輕便機(jī)動(dòng)工具；手動(dòng)器械的手柄；車間設(shè)備；機(jī)械手; |
| 發(fā)明人 | 不公告發(fā)明人 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 蘇州矽行半導(dǎo)體技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京千壹知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 213166江蘇省蘇州市高新區(qū)培源路2號(hào)微系統(tǒng)園2號(hào)樓106室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種回正叉機(jī)構(gòu)及晶圓載臺(tái)，屬于高精機(jī)臺(tái)領(lǐng)域，回正叉機(jī)構(gòu)包括限位叉、導(dǎo)輪軸、推板、活塞轉(zhuǎn)接板、活塞桿、缸體和驅(qū)動(dòng)缸轉(zhuǎn)接板；導(dǎo)輪軸被活塞桿經(jīng)活塞轉(zhuǎn)接板和推板驅(qū)動(dòng)的相對(duì)于限位叉上下運(yùn)動(dòng)；晶圓載臺(tái)包括載臺(tái)主軸、載盤、載臺(tái)底座、載臺(tái)氣浮地腳、載盤剎車組件、主軸彈性支撐組件和回正組件；回正組件采用前述的回正叉機(jī)構(gòu)，回正組件設(shè)置在載臺(tái)底座和載盤之間，用于載盤的被動(dòng)回正復(fù)位；通過(guò)本發(fā)明的回正叉機(jī)構(gòu)和晶圓載臺(tái)，可以懸浮的柔性支撐晶圓、硅片等待檢測(cè)或待加工件，并對(duì)被動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)的載盤提供回正復(fù)位，降低了成本，保證了載臺(tái)的精度和穩(wěn)定性，便于在帶有運(yùn)動(dòng)臺(tái)的半導(dǎo)體量檢測(cè)、高精加工領(lǐng)域中推廣應(yīng)用。 |
