一種回正叉機(jī)構(gòu)及晶圓載臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210318982.3 申請日 -
公開（公告）號 CN114683227A 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN114683227A 申請公布日 2022-07-01
分類號 B25H1/14（2006.01）I;B25H1/00（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I 分類 手動工具；輕便機(jī)動工具；手動器械的手柄；車間設(shè)備；機(jī)械手;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權(quán)）人 蘇州矽行半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京千壹知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 213166江蘇省蘇州市高新區(qū)培源路2號微系統(tǒng)園2號樓106室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種回正叉機(jī)構(gòu)及晶圓載臺，屬于高精機(jī)臺領(lǐng)域，回正叉機(jī)構(gòu)包括限位叉、導(dǎo)輪軸、推板、活塞轉(zhuǎn)接板、活塞桿、缸體和驅(qū)動缸轉(zhuǎn)接板；導(dǎo)輪軸被活塞桿經(jīng)活塞轉(zhuǎn)接板和推板驅(qū)動的相對于限位叉上下運(yùn)動；晶圓載臺包括載臺主軸、載盤、載臺底座、載臺氣浮地腳、載盤剎車組件、主軸彈性支撐組件和回正組件；回正組件采用前述的回正叉機(jī)構(gòu)，回正組件設(shè)置在載臺底座和載盤之間，用于載盤的被動回正復(fù)位；通過本發(fā)明的回正叉機(jī)構(gòu)和晶圓載臺，可以懸浮的柔性支撐晶圓、硅片等待檢測或待加工件，并對被動轉(zhuǎn)動的載盤提供回正復(fù)位，降低了成本，保證了載臺的精度和穩(wěn)定性，便于在帶有運(yùn)動臺的半導(dǎo)體量檢測、高精加工領(lǐng)域中推廣應(yīng)用。