一種升降軸及晶圓載臺(tái)
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202210318970.0 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN114695245A | 公開（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申請公布號(hào) | CN114695245A | 申請公布日 | 2022-07-01 |
| 分類號(hào) | H01L21/687（2006.01）I;B25H1/16（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 不公告發(fā)明人 | 申請（專利權(quán)）人 | 蘇州矽行半導(dǎo)體技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京千壹知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 213166江蘇省蘇州市高新區(qū)培源路2號(hào)微系統(tǒng)園2號(hào)樓106室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種升降軸及晶圓載臺(tái)，屬于高精機(jī)臺(tái)領(lǐng)域，升降軸包括中空軸體、臺(tái)階軸套、上封氣環(huán)、下封氣環(huán)、升降電機(jī)、支撐架、上端蓋和下端蓋；升降軸通過升降電機(jī)驅(qū)動(dòng)中空軸體在臺(tái)階軸套內(nèi)升降運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對驅(qū)動(dòng)件的升降驅(qū)動(dòng)；晶圓載臺(tái)包括載臺(tái)主軸、載盤、載臺(tái)底座、載臺(tái)氣浮地腳、載盤剎車組件、主軸彈性支撐組件和回正叉組件；通過本發(fā)明的升降軸和晶圓載臺(tái)，可以懸浮的柔性支撐晶圓、硅片等待檢測或待加工件，達(dá)到高精懸浮支撐作用，保證了載臺(tái)的精度和穩(wěn)定性，便于在帶有運(yùn)動(dòng)臺(tái)的半導(dǎo)體量檢測、高精加工領(lǐng)域中推廣應(yīng)用。 |
