一種晶圓側(cè)邊影像檢測裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210167185.X 申請日 -
公開（公告）號 CN114460009A 公開（公告）日 2022-05-10
申請公布號 CN114460009A 申請公布日 2022-05-10
分類號 G01N21/01（2006.01）I;G01N21/95（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權(quán)）人 蘇州矽行半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 北京千壹知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 213166江蘇省蘇州市高新區(qū)培源路2號微系統(tǒng)園2號樓106室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種晶圓側(cè)邊影像檢測裝置，屬于半導(dǎo)體檢測領(lǐng)域，裝置包括影像采集機構(gòu)、晶圓載臺和控制器，影像采集機構(gòu)距離可調(diào)的正對晶圓載臺設(shè)置，晶圓載臺高度可調(diào)的旋轉(zhuǎn)支撐多種規(guī)格的晶圓，通過控制器控制晶圓載臺帶動被測晶圓旋轉(zhuǎn)，并控制影像采集機構(gòu)完成對晶圓全周側(cè)的影像采集；裝置設(shè)置多個影像采集機構(gòu)圍繞晶圓載臺周向均布的設(shè)置；以此提高晶圓側(cè)邊影像采集的精度和效率，便于在半導(dǎo)體檢測領(lǐng)域中推廣應(yīng)用。