一種晶圓側邊影像檢測裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210167185.X 申請日 -
公開（公告）號 CN114460009A 公開（公告）日 2022-05-10
申請公布號 CN114460009A 申請公布日 2022-05-10
分類號 G01N21/01（2006.01）I;G01N21/95（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權）人 蘇州矽行半導體技術有限公司
代理機構 北京千壹知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 -
地址 213166江蘇省蘇州市高新區(qū)培源路2號微系統(tǒng)園2號樓106室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種晶圓側邊影像檢測裝置，屬于半導體檢測領域，裝置包括影像采集機構、晶圓載臺和控制器，影像采集機構距離可調(diào)的正對晶圓載臺設置，晶圓載臺高度可調(diào)的旋轉支撐多種規(guī)格的晶圓，通過控制器控制晶圓載臺帶動被測晶圓旋轉，并控制影像采集機構完成對晶圓全周側的影像采集；裝置設置多個影像采集機構圍繞晶圓載臺周向均布的設置；以此提高晶圓側邊影像采集的精度和效率，便于在半導體檢測領域中推廣應用。