一種芯片制造用硅晶圓夾取伸縮臂

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021104913.5 申請日 -
公開（公告）號 CN214213820U 公開（公告）日 2021-09-17
申請公布號 CN214213820U 申請公布日 2021-09-17
分類號 B25J9/14（2006.01）I 分類 手動工具；輕便機(jī)動工具；手動器械的手柄；車間設(shè)備；機(jī)械手;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權(quán)）人 上海卿頤電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 201512上海市金山區(qū)金山衛(wèi)鎮(zhèn)秋實路688號1號樓5單元345室D座
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種芯片制造用硅晶圓夾取伸縮臂，包括：殼體；安裝板，固定設(shè)置在所述殼體的底端；第一圓柱桿，固定設(shè)置在所述殼體的內(nèi)腔頂端，且所述第一圓柱桿的左右兩端分別延伸出殼體的左右兩側(cè)；伸縮夾取組件，設(shè)置在所述殼體的頂端；驅(qū)動機(jī)構(gòu)，設(shè)置在所述殼體的內(nèi)腔。該芯片制造用硅晶圓夾取伸縮臂，可對晶圓夾具進(jìn)行平穩(wěn)的伸長縮短，且伸縮長度較長，無需占用過多的使用空間，有利于其他硅晶圓加工設(shè)備的安放，實用性強(qiáng)。