一種自動化晶圓載臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122953524.0 申請日 -
公開（公告）號 CN216450614U 公開（公告）日 2022-05-06
申請公布號 CN216450614U 申請公布日 2022-05-06
分類號 H01L21/683（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 崔劍鋒;羅帥;李忠乾;張洪華;趙剛;王剛 申請（專利權）人 蘇州科韻激光科技有限公司
代理機構 北京市萬慧達律師事務所 代理人 陳曉磊
地址 215100江蘇省蘇州市吳中經(jīng)濟開發(fā)區(qū)郭巷街道淞葦路668號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種自動化晶圓載臺，其包括：吸盤，吸盤中部開設有頂升滑孔；基座，基座上部安裝有所述吸盤，基座和所述吸盤接觸面中部開設有凹槽形成安裝位；頂升機構，頂升機構設置于所述安裝位中，所述頂升機構被配置為對硅晶圓片進行頂升，所述頂升機構包括安裝板、固定板以及頂升軸，其中安裝板用于將頂升機構安裝于所述安裝位，固定板通過氣缸的伸縮桿連接于安裝板上方，頂升軸設于所述固定板上端面，所述頂升軸升降設置于所述吸盤的工作面，所述頂升滑孔被配置為頂升軸進行升降時的通道。本申請解決硅晶圓片為翹曲較大的形態(tài)時，普通真空吸盤吸取不牢靠的技術問題。