一種焦深自動(dòng)補(bǔ)償方法、裝置和系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110589954.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113305448B 公開(kāi)（公告）日 2022-05-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN113305448B 申請(qǐng)公布日 2022-05-27
分類(lèi)號(hào) B23K26/38（2014.01）I;B23K26/70（2014.01）I 分類(lèi) 機(jī)床；不包含在其他類(lèi)目中的金屬加工;
發(fā)明人 羅帥;饒立剛;張念;張洪華;王剛;張坤坤 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 蘇州科韻激光科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市萬(wàn)慧達(dá)律師事務(wù)所 代理人 -
地址 215100江蘇省蘇州市吳中經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)郭巷街道淞葦路668號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種焦深自動(dòng)補(bǔ)償方法、裝置和系統(tǒng)，所述方法包括：獲取待切割晶圓各采集點(diǎn)的片厚數(shù)據(jù)并根據(jù)片厚數(shù)據(jù)形成激光切割裝置切割軸各預(yù)設(shè)切割點(diǎn)的焦深補(bǔ)償數(shù)據(jù)，采集點(diǎn)與預(yù)設(shè)切割點(diǎn)具有對(duì)應(yīng)關(guān)系；確定激光切割裝置切割軸的實(shí)時(shí)切割速度及實(shí)時(shí)位置；根據(jù)激光切割裝置沿Z軸的移動(dòng)速度、切割軸的下一預(yù)設(shè)切割點(diǎn)位置、第一實(shí)時(shí)位置、第一實(shí)時(shí)切割速度及下一預(yù)設(shè)切割點(diǎn)的焦深補(bǔ)償數(shù)據(jù)，計(jì)算激光切割裝置為對(duì)下一預(yù)設(shè)切割點(diǎn)補(bǔ)償切割的移動(dòng)時(shí)刻；到達(dá)該移動(dòng)時(shí)刻時(shí)，啟動(dòng)激光切割裝置對(duì)下一預(yù)設(shè)切割點(diǎn)進(jìn)行補(bǔ)償切割。本發(fā)明提供的方法，在補(bǔ)償工藝需求范圍內(nèi)通過(guò)實(shí)時(shí)檢測(cè)切割軸的位置及速度進(jìn)行補(bǔ)償切割，避免因速度遲延導(dǎo)致的焦深補(bǔ)償偏差。