一種鍵合絲退火爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201922362933.6 申請日 -
公開（公告）號 CN211170804U 公開（公告）日 2020-08-04
申請公布號 CN211170804U 申請公布日 2020-08-04
分類號 C21D9/573(2006.01)I;C21D1/26(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 王巖;高琪;林良;曲少娜;劉炳磊 申請（專利權）人 煙臺一諾電子材料有限公司
代理機構 煙臺上禾知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 煙臺一諾電子材料有限公司
地址 264006山東省煙臺市經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)珠江路32號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種鍵合絲退火爐，包括軸心處可通過鍵合絲的玻璃管以及設置在玻璃管之外的碳化硅管，玻璃管為套管，中間為夾層，夾層端部設有保護氣體入口，碳化硅管為環(huán)狀，不接觸地包覆在所述玻璃管之外，形成隔離腔，碳化硅管內(nèi)設有環(huán)狀的降溫風道，降溫風道端部設有冷空氣入口，外側包覆有三組感應線圈，分別設置在碳化硅管的端部、中間和尾部，感應線圈均分別連接ZVS電源，感應線圈下的碳化硅管內(nèi)設有熱電偶。本實用新型玻璃管和碳化硅管不接觸，二者之間的隔離腔可使溫度均勻分散，利于穩(wěn)定退火，且便于更換石英玻璃管；在碳化硅管內(nèi)設置降溫風道，需要降低使用溫度時，向其通入空氣即可降溫，無需長時間等待，提高生產(chǎn)效率。??