一種鍵合絲退火爐
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201922362933.6 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN211170804U | 公開（公告）日 | 2020-08-04 |
| 申請公布號 | CN211170804U | 申請公布日 | 2020-08-04 |
| 分類號 | C21D9/573(2006.01)I;C21D1/26(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 王巖;高琪;林良;曲少娜;劉炳磊 | 申請（專利權(quán)）人 | 煙臺一諾電子材料有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 煙臺上禾知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 煙臺一諾電子材料有限公司 |
| 地址 | 264006山東省煙臺市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)珠江路32號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種鍵合絲退火爐，包括軸心處可通過鍵合絲的玻璃管以及設(shè)置在玻璃管之外的碳化硅管，玻璃管為套管，中間為夾層，夾層端部設(shè)有保護(hù)氣體入口，碳化硅管為環(huán)狀，不接觸地包覆在所述玻璃管之外，形成隔離腔，碳化硅管內(nèi)設(shè)有環(huán)狀的降溫風(fēng)道，降溫風(fēng)道端部設(shè)有冷空氣入口，外側(cè)包覆有三組感應(yīng)線圈，分別設(shè)置在碳化硅管的端部、中間和尾部，感應(yīng)線圈均分別連接ZVS電源，感應(yīng)線圈下的碳化硅管內(nèi)設(shè)有熱電偶。本實用新型玻璃管和碳化硅管不接觸，二者之間的隔離腔可使溫度均勻分散，利于穩(wěn)定退火，且便于更換石英玻璃管；在碳化硅管內(nèi)設(shè)置降溫風(fēng)道，需要降低使用溫度時，向其通入空氣即可降溫，無需長時間等待，提高生產(chǎn)效率。?? |
