一種MEMS超環(huán)面微鏡光纖光開(kāi)關(guān)及其制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710622947.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN107219589B 公開(kāi)（公告）日 2019-08-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN107219589B 申請(qǐng)公布日 2019-08-23
分類(lèi)號(hào) G02B6/35 分類(lèi) 光學(xué);
發(fā)明人 田志鵬 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 廈門(mén)烽行光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 大慶知文知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 田志鵬
地址 545005 廣西壯族自治區(qū)柳州市柳南區(qū)城站路東站三區(qū)7-1-8
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種MEMS超環(huán)面微鏡光開(kāi)關(guān),使用超環(huán)面微鏡作為光學(xué)反射模塊，從發(fā)射端光纖射出的發(fā)散光，被超環(huán)面鏡反射并會(huì)聚到接收端光纖中。超環(huán)面微鏡通過(guò)MEMS工藝，使用漸變曝光的光刻方式批量生產(chǎn)，并使用多點(diǎn)電致伸縮材料支撐柱改變?cè)撐㈢R的角度。使用本發(fā)明提供的結(jié)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)低插入損耗，高光學(xué)耦合效率，低串?dāng)_，高機(jī)械穩(wěn)定性的高質(zhì)量光開(kāi)光，在光纖通訊和高端光纖傳感器的應(yīng)用中，具有重要作用。