一種175℃差動(dòng)電容式MEMS加速度計(jì)伺服電路

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810611835.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN108896784A 公開(kāi)（公告）日 2018-11-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN108896784A 申請(qǐng)公布日 2018-11-27
分類號(hào) G01P15/125;G01P1/02;G01P1/00 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 田志鵬;白巍;胡宸源;楊長(zhǎng)春;麻三懷;陳文軒;張文秀;韓可都;楊繼進(jìn);程金晶 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廈門烽行光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中宇洪坤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 廈門烽行光電科技有限公司
地址 361000 福建省廈門市火炬高新區(qū)火炬園火炬路56-58號(hào)火炬廣場(chǎng)南樓203-52
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種175℃差動(dòng)電容式MEMS加速度計(jì)伺服電路，采用厚膜混合集成電路工藝制作，用雙列直插潛腔金屬外殼封裝，內(nèi)部充有氮?dú)獗Ｗo(hù)。本發(fā)明可以長(zhǎng)期在175℃環(huán)境中可靠的工作，且體積較小，可以和MEMS加速度計(jì)表頭完美裝配，形成一體化結(jié)構(gòu)，在石油鉆井工作中的高溫、高壓和強(qiáng)振動(dòng)情況下，長(zhǎng)期穩(wěn)定工作。