一種MEMS超環(huán)面微鏡光纖光開關(guān)及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710622947.X 申請日 -
公開（公告）號 CN107219589A 公開（公告）日 2017-09-29
申請公布號 CN107219589A 申請公布日 2017-09-29
分類號 G02B6/35(2006.01)I 分類 光學;
發(fā)明人 田志鵬 申請（專利權(quán)）人 廈門烽行光電科技有限公司
代理機構(gòu) 大慶知文知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 田志鵬
地址 545005 廣西壯族自治區(qū)柳州市柳南區(qū)城站路東站三區(qū)7-1-8
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種MEMS超環(huán)面微鏡光開關(guān),使用超環(huán)面微鏡作為光學反射模塊，從發(fā)射端光纖射出的發(fā)散光，被超環(huán)面鏡反射并會聚到接收端光纖中。超環(huán)面微鏡通過MEMS工藝，使用漸變曝光的光刻方式批量生產(chǎn)，并使用多點電致伸縮材料支撐柱改變該微鏡的角度。使用本發(fā)明提供的結(jié)構(gòu)，可實現(xiàn)低插入損耗，高光學耦合效率，低串擾，高機械穩(wěn)定性的高質(zhì)量光開光，在光纖通訊和高端光纖傳感器的應用中，具有重要作用。