一種含有N型和P型溝道氮化鎵器件的互補型邏輯電路

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202220442646.5 申請日 -
公開（公告）號 CN216849943U 公開（公告）日 2022-06-28
申請公布號 CN216849943U 申請公布日 2022-06-28
分類號 H01L27/092（2006.01）I;H01L29/10（2006.01）I;H01L21/8238（2006.01）I;H01L21/265（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張元雷;王玉叢;孫志偉;王惟生;趙胤超;劉雯 申請（專利權）人 西交利物浦大學
代理機構 北京品源專利代理有限公司 代理人 -
地址 215123江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)獨墅湖高等教育區(qū)仁愛路111號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種含有N型和P型溝道氮化鎵器件的互補型邏輯電路。該互補型邏輯電路包括氮化鎵襯底，氮化鎵襯底包括N區(qū)，N型溝道氮化鎵增強型器件位于N區(qū)；N型溝道氮化鎵增強型器件包括位于N區(qū)的氮化鎵襯底、第一氮化鎵鋁緩沖層、第一P型氮化鎵層、第一柵極、第一源極和第一漏極；第一氮化鎵鋁緩沖層包括中間區(qū)域和包圍中間區(qū)域的歐姆接觸區(qū)；第一P型氮化鎵層包括二維電子氣抑制區(qū)和高阻摻雜溝道區(qū)，高阻摻雜溝道區(qū)的電阻率大于二維電子氣抑制區(qū)的電阻率；互連結(jié)構用于連接N型溝道氮化鎵增強型器件和P型溝道氮化鎵增強型器件。本實用新型實施例提供的技術方案實現(xiàn)了一種增強型的含有N型和P型溝道氮化鎵器件的互補型邏輯電路。