一種用于磁控靶的收放式擋板及含其的磁控濺射鍍膜機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921934505.X 申請日 -
公開（公告）號 CN210886209U 公開（公告）日 2020-06-30
申請公布號 CN210886209U 申請公布日 2020-06-30
分類號 C23C14/35(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 刁訓剛;秦建平;刁詩如 申請（專利權）人 納能鍍膜丹陽有限公司
代理機構 北京領科知識產權代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 艾變開
地址 212300江蘇省鎮(zhèn)江市丹陽市云陽鎮(zhèn)南三環(huán)路科創(chuàng)園C3樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種用于磁控靶的收放式擋板及含其的磁控濺射鍍膜機，所述收放式擋板豎直放置，并包括氣缸、擋板軸、第一連片、第二連片和靶擋板，所述氣缸設在所述收放式擋板的頂部，所述擋板軸固定連接氣缸的活塞，并能夠隨活塞做伸縮運動，所述第一連片的頂部固定在氣缸外部，底部鉸接所述靶擋板，所述第二連片的頂部連接擋板軸，底部連接靶擋板；所述靶擋板設在所述收放式擋板的底部，所述擋板軸通過第二連片帶動靶擋板相對于第一連片做伸展或收縮閉合的運動。??