一種陶瓷生片疊層壓合用膠水、陶瓷封裝基座的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210321173.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN114656899A 公開(kāi)(公告)日 2022-06-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN114656899A 申請(qǐng)公布日 2022-06-24
分類號(hào) C09J129/14(2006.01)I;C09J101/28(2006.01)I;C09J11/04(2006.01)I;C04B37/00(2006.01)I;H01L21/48(2006.01)I 分類 染料;涂料;拋光劑;天然樹(shù)脂;黏合劑;其他類目不包含的組合物;其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 潘亞蕊;劉永良;張東陽(yáng) 申請(qǐng)(專利權(quán))人 瓷金科技(河南)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 鄭州睿信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 452470河南省鄭州市登封市產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種陶瓷生片疊層壓合用膠水、陶瓷封裝基座的制備方法,屬于半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明的陶瓷生片疊層壓合用膠水主要由增塑劑、溶劑、有機(jī)粘結(jié)劑和陶瓷粉組成;所述陶瓷粉在膠水中的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為1.5~13.5%。本發(fā)明的陶瓷生片疊層壓合用膠水用于陶瓷生片疊層壓合時(shí),有機(jī)粘結(jié)劑可起到臨時(shí)粘結(jié)作用,后續(xù)高溫?zé)Y(jié)過(guò)程中,有機(jī)組分會(huì)分解排出,陶瓷粉可起到承上啟下的遷移作用并在燒結(jié)過(guò)程中形成粘合層。另外,由于膠水中陶瓷粉的含量較低,當(dāng)在陶瓷生片表面形成的膠水的厚度一定的情況下,燒結(jié)過(guò)程中形成的粘合層的厚度更小,從而可以避免對(duì)燒結(jié)后的陶瓷生片的電鍍性和導(dǎo)通性有較大的不良影響。