一種陶瓷生片疊層壓合用膠水、陶瓷封裝基座的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210321173.8 申請日 -
公開（公告）號 CN114656899A 公開（公告）日 2022-06-24
申請公布號 CN114656899A 申請公布日 2022-06-24
分類號 C09J129/14（2006.01）I;C09J101/28（2006.01）I;C09J11/04（2006.01）I;C04B37/00（2006.01）I;H01L21/48（2006.01）I 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 潘亞蕊;劉永良;張東陽 申請（專利權(quán)）人 瓷金科技（河南）有限公司
代理機構(gòu) 鄭州睿信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 452470河南省鄭州市登封市產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種陶瓷生片疊層壓合用膠水、陶瓷封裝基座的制備方法，屬于半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明的陶瓷生片疊層壓合用膠水主要由增塑劑、溶劑、有機粘結(jié)劑和陶瓷粉組成；所述陶瓷粉在膠水中的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為1.5～13.5％。本發(fā)明的陶瓷生片疊層壓合用膠水用于陶瓷生片疊層壓合時，有機粘結(jié)劑可起到臨時粘結(jié)作用，后續(xù)高溫?zé)Y(jié)過程中，有機組分會分解排出，陶瓷粉可起到承上啟下的遷移作用并在燒結(jié)過程中形成粘合層。另外，由于膠水中陶瓷粉的含量較低，當(dāng)在陶瓷生片表面形成的膠水的厚度一定的情況下，燒結(jié)過程中形成的粘合層的厚度更小，從而可以避免對燒結(jié)后的陶瓷生片的電鍍性和導(dǎo)通性有較大的不良影響。