一種真空鍍膜設(shè)備電弧陰極翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921711314.7 申請日 -
公開（公告）號 CN210886197U 公開（公告）日 2020-06-30
申請公布號 CN210886197U 申請公布日 2020-06-30
分類號 C23C14/32(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 常江;常滿;陳國奇;汪洋 申請（專利權(quán)）人 成都市江泰真空鍍膜科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 610041四川省成都市武侯區(qū)高新區(qū)永豐路22號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種真空鍍膜設(shè)備電弧陰極翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，包括殼體，所述殼體開口處的底壁固定連接有導(dǎo)軌，所述導(dǎo)軌上活動連接有底座，所述殼體內(nèi)頂壁的中部固定連接有安裝座，且安裝座的底壁固定連接有陰極板，所述陰極板的底壁安裝有靶材，所述陰極板底部的左側(cè)開設(shè)有L形的卡接孔，所述靶材的左端通過轉(zhuǎn)軸貫穿卡接孔與陰極板活動連接，所述靶材的右端開始有圓柱槽，且圓柱槽內(nèi)固定連接有復(fù)位彈簧。本實(shí)用新型涉及真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域。該真空鍍膜設(shè)備電弧陰極翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，通過設(shè)置有翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了將靶材自動拆卸安裝，無需操作人員手工操作，降低了勞動強(qiáng)度，提高了工作效率，同時(shí)避免了高處作業(yè)，解決了安全隱患。??