一種高分子等離子表面真空鍍膜設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921473460.0 申請日 -
公開(公告)號 CN210886196U 公開(公告)日 2020-06-30
申請公布號 CN210886196U 申請公布日 2020-06-30
分類號 C23C14/32(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 常江;常滿;陳國奇;汪洋 申請(專利權(quán))人 成都市江泰真空鍍膜科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 610041四川省成都市武侯區(qū)高新區(qū)永豐路22號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種高分子等離子表面真空鍍膜設(shè)備,包括腔體、基板和坩堝,腔體底部的四角均固定連接有支撐腿,腔體的正面轉(zhuǎn)動連接有密封門,腔體內(nèi)壁兩側(cè)之間的底部固定連接有支撐板,支撐板的頂部固定連接有防護(hù)框,防護(hù)框內(nèi)壁的兩側(cè)均固定連接有第一滑軌,本實(shí)用新型涉及真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域。該高分子等離子表面真空鍍膜設(shè)備,當(dāng)鍍膜工作完成后,可以將坩堝密封在防護(hù)框內(nèi),這樣就可以及時(shí)打開密封門,將基板取出準(zhǔn)備下一次鍍膜,能夠有效防止鍍膜材料噴濺,且省去坩堝降溫的時(shí)間,提高了工作效率,電機(jī)工作能夠調(diào)整兩個限位板之間的距離,使其能夠固定不同大小的基板,擴(kuò)大了適用范圍,適用性更強(qiáng),提高了實(shí)用性。??