一種環(huán)狀工件內(nèi)壁沉積金剛石涂層的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010527014.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111676463B 公開（公告）日 2022-06-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN111676463B 申請(qǐng)公布日 2022-06-17
分類號(hào) C23C16/27（2006.01）I;C23C16/513（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 李國(guó)華;姜龍;郭輝;董旺;崔玉明;王少巖;馬立佳 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 河北省科學(xué)院
代理機(jī)構(gòu) 石家莊冀科專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 -
地址 050081 河北省石家莊市橋西區(qū)友誼南大街46號(hào)河北省科學(xué)院3號(hào)樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種環(huán)狀工件內(nèi)壁沉積金剛石涂層的方法，包括下述步驟：陰極、陽(yáng)極分體；環(huán)狀工件安裝到支撐環(huán)上，環(huán)狀工件套裝在陽(yáng)極外圍且與陽(yáng)極同心放置；上升沉積臺(tái)，使陽(yáng)極上端面離輔助電極下端面10?20mm；在陰極和輔助電極之間通入工作氣體，磁場(chǎng)線圈通入電流，在陽(yáng)極和陰極之間引燃電弧，陽(yáng)極斑點(diǎn)在陽(yáng)極邊沿高速旋轉(zhuǎn)，形成傘狀弧帽；下降沉積臺(tái)，將傘狀弧帽調(diào)整于環(huán)狀工件的中心；在引弧電極和輔助電極之間通入含碳?xì)怏w，等離子體射流沿徑向吹向環(huán)狀工件內(nèi)壁，在環(huán)狀工件內(nèi)壁沉積金剛石涂層。本發(fā)明陰極、陽(yáng)極分離，工件置于陰極陽(yáng)極之間，陽(yáng)極的結(jié)構(gòu)使高溫氣流以徑向吹向環(huán)狀工件內(nèi)壁，氣流與工件內(nèi)壁垂直，能量集中，熱效率高，金剛石涂層生長(zhǎng)速度快，質(zhì)量好。