刻蝕印消除裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201620544100.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN205863203U 公開(kāi)（公告）日 2017-01-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN205863203U 申請(qǐng)公布日 2017-01-04
分類號(hào) H01L31/18(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 楊斌;盧河;黃凱 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇愛(ài)多能源科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 江陰大田知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 江蘇愛(ài)多能源科技有限公司
地址 214400 江蘇省無(wú)錫市江陰市周莊鎮(zhèn)寶池路1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種刻蝕印消除裝置，包括送架、水膜噴淋裝置、去PSG槽、水膜減薄裝置、刻蝕槽，輸送架包括輸送輥，水膜噴淋裝置包括輸水管、設(shè)置于輸水管底部的噴頭，位于去PSG槽以及刻蝕槽段的輸送輥的部分浸設(shè)于去PSG槽以及刻蝕槽內(nèi)，水膜減薄裝置包括轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置于輸送輥上方的滾輪，滾輪的轉(zhuǎn)動(dòng)方向與輸送輥的轉(zhuǎn)動(dòng)方向相反，滾輪與位于輸送輥上的太陽(yáng)能硅片的上表面相切，刻蝕槽連通有自動(dòng)加溫裝置，自動(dòng)加溫裝置包括加溫水箱、送水管以及排水管、抽水泵、電加熱器、溫度檢測(cè)傳感器，溫度檢測(cè)傳感器與抽水泵的控制器相連接，有效進(jìn)行刻蝕印的消除，提升制程控制水平，從而提升公司的競(jìng)爭(zhēng)力，直接提升產(chǎn)品合格率0.2%。