一種多晶硅定向凝固裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920757557.8 申請日 -
公開(公告)號 CN210287582U 公開(公告)日 2020-04-10
申請公布號 CN210287582U 申請公布日 2020-04-10
分類號 C30B29/06;C30B28/06 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 趙新田;李強;阮傳山;于建明;喬寧波;張翼飛;劉學山;武葉芳 申請(專利權(quán))人 石河子市華新新材料有限公司
代理機構(gòu) 北京鼎佳達知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 石河子市華新新材料有限公司;新疆西部合盛硅業(yè)有限公司;新疆東部合盛硅業(yè)有限公司
地址 832000 新疆維吾爾自治區(qū)石河子市石河子開發(fā)區(qū)56小區(qū)9棟102號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,及具體涉及一種多晶硅定向凝固裝置,其包括:支架、腔體、蓋體和散熱機構(gòu);腔體設(shè)置在支架上;腔體包括:底座和墻體;四個墻體豎直設(shè)置在底座上;四個墻體依次連接,與底座形成矩形容腔;底座包括:鋼結(jié)構(gòu)層和碳化硅磚層;碳化硅磚層設(shè)置在鋼結(jié)構(gòu)層的上側(cè);墻體由內(nèi)向外依次為:高純鋁層、耐熱纖維保溫層、納米絕熱層和鋼材料層;蓋體蓋設(shè)在腔體上;蓋體的一端具有開口,與腔體的開口對應(yīng)設(shè)置;蓋體由內(nèi)向外依次為:剛玉保溫層和耐高溫陶瓷纖維層;耐高溫陶瓷纖維層內(nèi)設(shè)置有納米絕熱板;蓋體上設(shè)置有加熱構(gòu)件;加熱構(gòu)件沿蓋體的內(nèi)腔設(shè)置;散熱機構(gòu)設(shè)置在底座的下方,用于向底座的中部噴吹空氣。