一種用于芯片排片機(jī)的負(fù)壓結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201822093636.1 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN209266383U 公開（公告）日 2019-08-16
申請公布號(hào) CN209266383U 申請公布日 2019-08-16
分類號(hào) H01L21/683 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 孫備備 申請（專利權(quán)）人 天津力矩自動(dòng)化科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 天津市尚儀知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 天津力矩自動(dòng)化科技有限公司
地址 300457 天津市濱海新區(qū)開發(fā)區(qū)黃海路167號(hào)寫字樓研發(fā)大廳一層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種用于芯片排片機(jī)的負(fù)壓結(jié)構(gòu)，負(fù)壓結(jié)構(gòu)安裝于排片機(jī)上用于在芯片治具上擺放芯片；負(fù)壓機(jī)構(gòu)中包括底座、多組風(fēng)扇以及風(fēng)扇固定座；所述風(fēng)扇固定座包括中隔板，中隔板下面安裝有風(fēng)扇，中隔板上每個(gè)風(fēng)扇正上方的區(qū)域形成圓孔型的風(fēng)道，風(fēng)扇固定座的左右側(cè)隔板上形成氣流通道；風(fēng)扇固定座頂部固定有篩網(wǎng)板；底座部署于移動(dòng)模組上；底座上安裝有四根支撐活動(dòng)導(dǎo)向板的直線導(dǎo)套和推動(dòng)活動(dòng)導(dǎo)向板上下移動(dòng)的氣缸；風(fēng)扇固定座安裝于活動(dòng)導(dǎo)向板上。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，很好地避免了芯片排片中容易因外力影響排片效果的問題，具有良好的應(yīng)用前景。