一種輝光放電質(zhì)譜高純鎵測試方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110525400.4 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN113533493A 公開（公告）日 2021-10-22
申請公布號(hào) CN113533493A 申請公布日 2021-10-22
分類號(hào) G01N27/68;G01N1/44;G01N1/42;G01N1/36 分類 測量；測試;
發(fā)明人 徐國軍;張蛟;蘭邦銀;蔣明偉;楊謝行 申請（專利權(quán)）人 宣城先進(jìn)光伏技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京風(fēng)雅頌專利代理有限公司 代理人 方昊
地址 242000 安徽省宣城市宣城經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)青弋江大道宣城科技園B19-1幢106室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本說明書一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例提供一種輝光放電質(zhì)譜高純鎵測試方法，包括將固態(tài)鎵通過加熱得到液態(tài)鎵，清洗聚四氟乙烯模具，待風(fēng)干后，將聚四氟乙烯模具放入冷卻裝置上，將液態(tài)鎵倒入放置在冷卻裝置上的聚四氟乙烯模具中，并在設(shè)定時(shí)間內(nèi)轉(zhuǎn)移至超凈工作臺(tái)內(nèi)，靜置直到獲得成型的樣品，將成型的樣品固定好，并裝入GDMS的樣品室中進(jìn)行抽真空，樣品通過半導(dǎo)體制冷方式降溫在設(shè)定時(shí)間內(nèi)進(jìn)行放電，通過放電濺射去除表面的污染，待信號(hào)穩(wěn)定后通過GDMS采集數(shù)據(jù)并分析，分析結(jié)束后，記錄數(shù)據(jù)并保存，實(shí)現(xiàn)了對鎵、銦這類低熔點(diǎn)的金屬，可通過轉(zhuǎn)化形態(tài)的方式獲得待測平面進(jìn)行測量的問題。