鍍膜裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200910308414.X 申請日 -
公開（公告）號 CN102230163B 公開（公告）日 2013-07-31
申請公布號 CN102230163B 申請公布日 2013-07-31
分類號 C23C14/56(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王仲培 申請（專利權(quán)）人 南通市崇川科技創(chuàng)業(yè)服務(wù)中心有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 518109 廣東省深圳市寶安區(qū)龍華鎮(zhèn)油松第十工業(yè)區(qū)東環(huán)二路2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種鍍膜裝置，包括一個(gè)鍍膜室、多個(gè)靶材、多個(gè)擋板以及多個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述多個(gè)靶材與多個(gè)擋板一一對應(yīng)地設(shè)置于鍍膜室內(nèi)，每個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)均包括驅(qū)動(dòng)馬達(dá)、與驅(qū)動(dòng)馬達(dá)相連接的齒輪以及與齒輪嚙合的齒軌，所述驅(qū)動(dòng)馬達(dá)用于驅(qū)動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，所述齒輪用于在驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)下帶動(dòng)齒軌移動(dòng)，所述多個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的齒軌與所述多個(gè)擋板一一對應(yīng)，每個(gè)齒軌均固設(shè)于一個(gè)與其對應(yīng)的擋板，用于通過與齒輪的嚙合帶動(dòng)該擋板相對于與該擋板對應(yīng)的靶材移動(dòng)，以使得擋板與該靶材相對從而遮蔽該靶材或者使得擋板與該靶材相背從而暴露該靶材。