一種太陽能電池用光致化學(xué)沉積裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201220432679.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN202744625U 公開（公告）日 2013-02-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN202744625U 申請(qǐng)公布日 2013-02-20
分類號(hào) C23C16/48(2006.01)I;C23C16/24(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 夏洋 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江科民能源科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 浙江杭州金通專利事務(wù)所有限公司 代理人 趙芳;徐關(guān)壽
地址 100029 北京市朝陽區(qū)華嚴(yán)里27號(hào)4門511號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種太陽能電池用光致化學(xué)沉積裝置，包括補(bǔ)液系統(tǒng)、沉積系統(tǒng)，所述補(bǔ)液系統(tǒng)包括放置反應(yīng)溶液的補(bǔ)液腔體，所述補(bǔ)液腔體內(nèi)的底部安裝有第一加熱裝置，其上部安裝有第一在線溫度監(jiān)測(cè)裝置，所述補(bǔ)液腔體上設(shè)有將液體輸送至沉積系統(tǒng)的液體輸出管道，其內(nèi)在液體輸出管道的上方設(shè)有過濾裝置，所述液體輸出管道上安裝有液體流量計(jì)；所述沉積系統(tǒng)包括沉積反應(yīng)腔體，所述沉積反應(yīng)腔體的底部安裝有第二加熱裝置、鼓泡裝置、時(shí)間控制器以及循環(huán)裝置，所述沉積反應(yīng)腔體內(nèi)安裝有將硅片固定在沉積反應(yīng)腔體內(nèi)的真空吸附裝置，其上方安裝有第二在線溫度監(jiān)測(cè)裝置及光照系統(tǒng)。本實(shí)用新型的有益效果：可用于低成本，無損傷二氧化硅薄膜的沉積。