一種拋光液及其制備方法和碳化硅晶體的加工方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910292079.2 申請日 -
公開（公告）號 CN109988510A 公開（公告）日 2021-06-04
申請公布號 CN109988510A 申請公布日 2021-06-04
分類號 C09G1/02;H01L21/02 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 苑亞斐;張亮亮 申請（專利權(quán)）人 盤錦國瑞升科技有限公司
代理機構(gòu) 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 王煥
地址 124010 遼寧省盤錦市雙臺子區(qū)園區(qū)街南、工貿(mào)路西2111020090140232（工業(yè)園區(qū)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及精密加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種拋光液及其制備方法和碳化硅晶體的加工方法。所述拋光液，包括按重量份數(shù)計的如下組分：聚晶金剛石微粉5?30份、硅溶膠1000份、懸浮劑2?40份、潤濕劑4?21份、消泡劑2?14份和pH調(diào)節(jié)劑2?10份。所述制備方法包括：將聚晶金剛石微粉、懸浮劑、潤濕劑、消泡劑和pH調(diào)節(jié)劑混合加入水中，再加入硅溶膠混合均勻。所述拋光液可用于對碳化硅晶體的加工中。本發(fā)明的拋光液配合拋光墊對碳化硅進行拋光，能夠有效減少精拋時間和減少整體研磨拋光時間，并顯著提高晶體表面質(zhì)量。