一種滾輪帶液背腐蝕刻邊裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120197569.7 申請日 -
公開（公告）號 CN214152864U 公開（公告）日 2021-09-07
申請公布號 CN214152864U 申請公布日 2021-09-07
分類號 H01L21/677（2006.01）I;H01L21/306（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 楊冬生;胡燕;陳志杰;劉丹磊 申請（專利權(quán)）人 中建材浚鑫科技有限公司
代理機構(gòu) 無錫堅恒專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 趙貴春
地址 214400江蘇省無錫市江陰市申港鎮(zhèn)鎮(zhèn)澄路1011號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種滾輪帶液背腐蝕刻邊裝置，包括硅片輸送機和頂部敞口的刻蝕槽，硅片輸送機包括驅(qū)動組件和多個并排分布于刻蝕槽內(nèi)的滾輪，驅(qū)動組件驅(qū)動滾輪沿相同方向轉(zhuǎn)動，滾輪為漂浮滾輪，漂浮的滾輪上部抵接設(shè)置有下壓件，漂浮的滾輪組成水平的硅片輸送面。該滾輪帶液背腐蝕刻邊裝置通過將滾輪漂浮在刻蝕槽的刻蝕液液面上，并利用下壓件作用于滾輪上部，保證滾輪形成水平的硅片傳輸面，從而實現(xiàn)硅片穩(wěn)定的傳輸和可靠的背面刻蝕；此外，該裝置無需安裝感應(yīng)器，進(jìn)一步保證了刻蝕的可靠性并降低了成本。