一種滾輪帶液背腐蝕刻邊裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120197569.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214152864U 公開(kāi)（公告）日 2021-09-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN214152864U 申請(qǐng)公布日 2021-09-07
分類號(hào) H01L21/677（2006.01）I;H01L21/306（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 楊冬生;胡燕;陳志杰;劉丹磊 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 中建材浚鑫科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無(wú)錫堅(jiān)恒專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 趙貴春
地址 214400江蘇省無(wú)錫市江陰市申港鎮(zhèn)鎮(zhèn)澄路1011號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種滾輪帶液背腐蝕刻邊裝置，包括硅片輸送機(jī)和頂部敞口的刻蝕槽，硅片輸送機(jī)包括驅(qū)動(dòng)組件和多個(gè)并排分布于刻蝕槽內(nèi)的滾輪，驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)滾輪沿相同方向轉(zhuǎn)動(dòng)，滾輪為漂浮滾輪，漂浮的滾輪上部抵接設(shè)置有下壓件，漂浮的滾輪組成水平的硅片輸送面。該滾輪帶液背腐蝕刻邊裝置通過(guò)將滾輪漂浮在刻蝕槽的刻蝕液液面上，并利用下壓件作用于滾輪上部，保證滾輪形成水平的硅片傳輸面，從而實(shí)現(xiàn)硅片穩(wěn)定的傳輸和可靠的背面刻蝕；此外，該裝置無(wú)需安裝感應(yīng)器，進(jìn)一步保證了刻蝕的可靠性并降低了成本。